XY精密對位平臺

• 一般環境使用

• 高精密對位平臺，可選中空設計，采用無鐵芯直線電機和SP級交叉滾子導軌，全套雷尼紹光柵，檢測精度0.1um，平面度≤8um，可配R軸旋轉軸，多應用于晶圓檢測、電子顯微鏡平臺、LCD封裝檢測、透鏡激光熔覆加工等；

• 產品參數

  Tips：絲桿直線模組行程超過750mm時，會產生螺桿偏擺，此時請將降低速度，詳情參數及選型建議咨詢業務人員。